仪器名称：光电子能谱仪

型号：AXIS ULTRA^DLD

厂家：日本岛津Kratos

（一）岛津/Kratos AXISULTRA^DLD多功能光电子能谱仪的主要测试内容：

1. 定性：除H，He以外元素种类及价态信息，检测样品浓度大于0.1at%；

2. 定量：表面敏感型，探测深度小于10nm；

3. 成像：元素XPS二维成像，元素SAM/AES二维成像；

4. 价电子：价带分析和逸出功测试；

5. 深度剖析：角分辨和离子溅射剖析，厚度分析。

（二）本实验室KratosAXIS ULTRA^DLD多功能光电子能谱仪技术指标：

1、       具有165mm平均半径的双聚焦180°高精度能量分析器；

2、       128通道的DLD延迟线检测器；

3、       最大功率450W(30mA,15kV)的Al/Mg双阳极和Al/Ag单色化双阳极X射线源（X射线能量：AlKα 1486.6eV/Mg Kα 1253.6eV/Ag Lα 2984.2eV），Ag 3d分辨率（半高宽FWHM）0.48eV（AlKα单色化），0.55eV（MgKα）；

4、      配置同轴荷电中和枪、低能量悬浮离子枪(Low energy floatingion gun)，刻蚀能量范围：50eV~5000eV，Ta₂O₅刻蚀率：40nm/min@4keV，2.2nm/min@500eV ；

5、      140meV分辨率（HeI辐射的Ag）UV源；

6、       Schottky场发射10kV电子枪，分辨率10kV加速电压/5nA样品电流下优于100nm；

7、       步进样品座分辨率1μm；

8、       在SAC和STC设有－150～600℃样品变温处理装置。

XPS组成框架图

  通过对光阑调节可以对样品进行300μm×700μm(Slot)、110μm、55μm、27μm、15μm的区域分析。光阑匹配参数如下表：

表、不同测试分析区域对应Aperture和Iris参数